한국산업기술대 이성남 교수팀
[정보통신신문=김연균기자]
한국산업기술대학교 나노반도체공학과 이성남 교수 연구팀은 산화물반도체 나노주름네트워크 형성을 통한 고효율 LED 기술을 개발했다.
기존의 기술은 LED 소자의 전류 흐름을 향상시키기 위해 인듐주석산화물(ITO)을 사용해 광효율을 향상시킨다.
그러나 투명전극으로 사용하고 있는 ITO재료의 인듐이 고가의 희유금속이기 때문에 산화아연계 반도체 재료가 대체물질로 각광받고 있다.
이번 연구에서는 산화아연계 반도체 박막을 졸-젤법을 이용해 LED 웨이퍼 위에 형성하고, 적절한 열처리 공정을 통한 나노주름네트워크 구조를 자발적으로 형성한 투명전극을 LED에 적용해 전류 퍼짐현상과 광추출 효율을 동시에 향상시키는 기술을 개발했다.
특히 추가적인 증착·식각공정 없이 졸-젤 공정에 포함된 열처리 공정을 변화해 표면 나노구조의 형태를 LED 소자의 광추출에 최적화된 나노주름네트워크 구조로 형성했다.
나노주름네트워크 구조는 광추출 효율을 극대화할 뿐 아니라, LED 소자의 투명전극으로 사용할 수 있는 두 가지 역할을 동시에 할 수 있음을 확인했다. 또한 나노주름네트워크 구조를 이용해 광의 발광 각도를 제어할 수 있다.
이성남 교수는 “이번 연구 성과는 기존의 고가의 인듐주석산화물을 대신할 수 있는 투명전극을 저가의 용액 공정인 졸-젤법으로 대체할 것”이라며 “향후 차세대 고추출 효율 LED 광원 및 마이크로 LED 디스플레이 광원으로 적용될 수 있을 것으로 기대된다”고 말했다.
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