삼성 파운드리, 키사이트 노이즈 분석기 채택

고급 반도체 노드 PDK 개발
시뮬레이션 정확도 개선

2022-11-29     차종환 기자

[정보통신신문=차종환기자]

키사이트테크놀로지스가 삼성 파운드리에서 반도체 디바이스의 플리커 노이즈(1/f 노이즈)와 랜덤 텔레그래프 노이즈(RTN)를 측정 및 분석하기 위해 키사이트의 ‘E4727B’ 고급 저주파수 노이즈 분석기(A-LFNA)를 채택했다고 발표했다.

실리콘 제조업체의 첨단 기술을 목표로 하는 삼성 파운드리 고객들은 가장 정확한 A-LFNA 데이터 기반 시뮬레이션 모델을 포함하는 프로세스 설계 키트(PDK)를 통해 무선 주파수(RF) 및 아날로그 회로를 설계∙검증할 수 있다.

‘패스웨이브(Pathwave)’ 소프트웨어 솔루션 제품 관리 디렉터 찰스 플롯(Charled Plott)은 "PDK의 개발, 특히 5, 4 그리고 3나노미터의 첨단 기술 노드와 관련해 정확한 저주파수 노이즈 측정과 모델링의 중요성이 점점 더 커지고 있다"며, "삼성 파운드리에서 키사이트의 A-LFNA를 활용해 설계 엔지니어들이 회로 설계에서 가장 높은 품질의 PDK를 확보해 한 번에 테스트를 통과하고 출시일을 앞당길 수 있다”고 말했다.

키사이트의 ‘E4727B’ A-LFNA는 반도체 디바이스의 저주파수 노이즈를 측정하는 턴키 솔루션이다.

엔지니어는 유연하고 확장 가능한 측정 시스템에서 전체 웨이퍼 레벨 디바이스 특성화 워크플로를 관리하고 자동화할 수 있다.

그 다음, 엔지니어들이 시스템의 측정 데이터를 키사이트의 ‘패스웨이브’ 디바이스 모델링(IC-CAP) 및 ‘패스웨이브’ 모델 빌더(MBP) 소프트웨어로 가져와 PDK 개발을 위한 디바이스 모델을 추출하면 아주 정확한 RF 및 아날로그 저노이즈 회로 설계 및 시뮬레이션이 가능하다.

삼성 파운드리는 주요 반도체 파운드리로 첨단 프로세스 기술, 검증된 IP, 설계 서비스 솔루션을 포함해 최적화된 파운드리 솔루션을 제공한다.

삼성 파운드리 기술부문 이형진 마스터는 “키사이트의 A-LFNA는 100MHz의 주파수 대역폭을 가지고 있고 더 높은 주파수에서의 노이즈 측정을 지원한다”며 “이전 세대의 시스템과 비교했을 때 A-LFNA의 측정 속도는 엄청나게 빠른데, 빠른 온웨이퍼 디바이스의 자동 측정 기능이 없었다면 특성화 프로세스가 굉장히 힘들었을 것”이라고 말했다.