정전척 개발·인력 육성 앞장
[정보통신신문=이민규기자]
정전척 전문기업 ㈜파웰코퍼레이션은 자사의 강창수 대표이사가 과학기술진흥을 통해 국가발전에 이바지한 공로를 인정받아 과학기술정보통신부 장관 표창을 수상했다고 밝혔다. 강 대표는 지난 4월 ‘제54회 과학의 날’에 수상의 영예를 안게 됐다.
이 회사의 주력제품인 정전척(Electro Static Chuck)은 반도체 제조공정에서 유용하게 쓰이는 핵심부품으로, 반도체 장비의 진공챔버 내부에 장착돼 정전기의 힘을 이용해 웨이퍼(Wafer)를 고정시켜 주는 기능을 한다.
강창수 대표는 1999년부터 현재까지 20여 년간 기업을 경영하면서 반도체 전(前)공정에 사용되는 정전척 개발과 전문인력 육성에 적극 앞장서 왔다. 특히 반도체 제품 생산성의 안정화를 위해 진공 챔버의 핵심부품인 정전척 소재 개발에 대한 연구에 혼신의 노력을 기울이고 있다. FPD·모바일 생산용 정전척에 대한 주요 소재 변경을 통해 액정 패널의 생산성 향상에 기여한 것도 이런 노력의 결실로 평가된다.
이와 관련, ㈜파웰코퍼레이션은 ‘마스크 제어가 가능한 정전척’에 관한 특허를 비롯해 관련특허 출원 및 등록에 매진하고 있다. 이 이외에도 ㈜파웰코퍼레이션은 2015년부터 반도체 장비 및 디스플레이 장비에 고장예지 기술(PHM: Prognostics and Health Management)을 접목하는 독일기업과의 협력에도 힘을 쏟고 있다. 이를 바탕으로 기존 장치 및 디바이스 분야 국내 고객사와의 협업을 통해 새로운 비즈니스 모델을 발굴하고 있다.
강창수 대표는 “본인을 비롯해 회사 전 직원이 첨단기술 및 고성능 제품에 대한 연구개발에 매진해 온 결실로 과학기술정보통신부 장관상 수상이라는 쾌거를 이루게 됐다”며 “이번 성과에 멈추지 않고 앞으로도 반도체 분야를 비롯한 국가산업 발전에 이바지 할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 소감을 밝혔다.
