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디지털 노광장비 핵심 기술 개발
디지털 노광장비 핵심 기술 개발
  • 차종환 기자
  • 승인 2013.12.16 18:01
  • 댓글 0
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정부와 국내 대·중소기업 및 학계가 공동으로 디스플레이 생산공정의 핵심장비인 ‘8세대급 디지털 노광기’의 핵심 기술을 개발하고 향후 본격적인 국산화에 나서기로 했다.

노광기란, 평판디스플레이(FPD: Flat Panel Display) 제조 공정 중 가장 핵심을 차지하는 장비로서 포토마스크에 빛을 쪼여 유리기판에 회로를 형성한다.

산업통상자원부는 지난 5년(2008.1.~2013.9) 간 전자정보디바이스 산업원천기술개발 사업을 통해 212억 원을 지원함으로써, 국내 원천기술이 전무해 전량 수입에 의존하던 대형 노광장비의 핵심기술 개발을 완료했다고 밝혔다.

노광공정은 FPD 제조 공정 중 비용 및 시간적 측면에서 30~40%이상을 차지하는 최고 핵심 공정이며, 그간 일본 등 선진국에서 장비를 전량 수입했다.

대당 장비 가격은 7G급이 100억 원, 8G급이 200억 원~300억 원 수준이다. 국내에선 2008년부터 2012년까지 약 5억8000만 달러어치를 수입해왔다.

노광기는 기술수준이 매우 높고, 외국 장비기업의 엄격한 통제로 인해 기술 접근이 어려워 디스플레이 5대 핵심 장비 중 유일하게 국산화에 성공하지 못한 장비다.

산업부는 이번 기술개발로 인해 세계 최고수준인 국내 디스플레이 산업기술 및 노하우가 외국 장비기업을 통해 경쟁국에 유출되는 위험을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 향후 국산 노광장비의 수출효과도 기대할 수 있다고 내다봤다.

특히, 이번에 개발된 기술은 기존의 아날로그 방식이 아닌 디지털방식으로 개발된 세계 최초의 대형 노광기술로서 기술 자립화 및 원가 절감에 따른 가격 경쟁력 향상효과도 기대된다.

아날로그 노광기의 핵심부품인 마스크(Mask)를 디지털화시킨 것이 이 기술의 핵심이며, 필름 카메라가 디지털 카메라로 진화한 것과 같이 기존 기술 대비 공정기간 단축 및 원가절감의 효과가 매우 클 것이라는 설명이다.

마스크리스(Maskless) 기술은 패턴 설계 후 즉시 테스트 및 생산이 가능해 신속한 제품 개발에도 유리하며, 비용절감, 개발시간 단축 등 경쟁국 대비 유리한 공정조건 선점이 가능할 것으로 기대된다.

이번 연구에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여했다.
 


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